手持式鍍層測厚分析儀

用X射線激發樣品，樣品受激發後產生X射線螢光。X射線通常把元素原子K層和L層的內層電子打岀原子，產生的空穴被高能量的外層電子填補。補充到低能量軌道上的高能量電子把多餘的能量以X射線螢光輻射岀來。這些輻射岀來的譜線中含有各種元素的特徵。像指紋一樣，並且獨立於原子的化學價態。輻射的強度與樣品中該元素的濃度成正比。